荷兰光刻机巨头仍在等候政府向中国出口设备的批复

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荷兰光刻机制造商阿斯麦(ASML)仍在等待荷兰政府就向中国客户供应设备的出口许可证作出决定。首席执行官彼得·文宁克(Peter Wennink)在台湾新竹举行的一项活动中表示,尚不清楚决定何时会作出。

上月,阿斯麦宣布已暂停将其最先进的设备,即最新一代的芯片机、所谓的极紫外光光刻机(EUV),交付给中国芯片公司中芯国际(SMIC)。彼得·文宁克表示,荷兰政府在续签出口许可证之前,首先要获得更多信息。

上月,据阿斯麦的一位发言人称,所以这样做,是因为没有从荷兰外交部获得批准。这项向中国提供这项技术的许可已经到期,目前还没有得到延期,阿斯麦正在等候恢复延期。

荷兰外交部发言人上月确认,EUV技术在《瓦森纳公约》(Verdrag van Wassenaar)涵盖范围之内,但不想就这个问题作出具体回应。签署公约的各国每年共同确定属于受保护产品和商品的类别,颁发的许可证最长期限为16周。

阿斯麦的发言人上月也表示,暂时中止交货是《瓦森纳公约》的结果。世界上有 42个国家已同意对敏感技术的供应实行许可证制度,如果颁发的许可证得到延期,将恢复交付。中国订购的其他型号的阿斯麦光刻机,将继续向中国交付。

而据日本《日经亚洲评论》(Nikkei Asian Review)上月报道,消息人士称,这一决定是在美国的压力下作出的,美国要遏止中国半导体产业的发展。

这是中国在2018年首次订购EUV光刻机。据日本报纸报道,按计划,阿斯麦要在今年秋天将这款新一代光刻机交付给中国的中芯国际。

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